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壓電線性二維臺-北京派和科技股份有限公司
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PRODUCTS

壓電線性位移臺適用于要求精確定位,完全非磁性或者真空兼容的環境。直接驅動的原理確保運動系統無任何機械間隙或齒隙,具有亞微米級移動精度、分辨率和平滑的線性運動。壓電線性位移臺具有卓越的精度、快速的響應和占地面積小、重量輕、功率適中等優點。

應用領域
  • 核磁環境下的設備

  • 航空航天中的精確定位

  • 生物醫學領域精密微操作


產品特點
  • X、Y軸最大行程70mm,最大速度250mm/s

  • 體積小,重量輕,響應快,無電磁干擾,斷電自鎖

  • 采用分辨率為0.1μm的直線光柵,利用PID控制技術,重復定位精度可達0.5μm

  • 最大推/拉力可達16 N


產品規格

運動與定位性能

行程

70mm

單軸速度max

250mm/s

最小位移量

0.5μm

編碼器分辨率

0.1μm

空載單軸最大/拉力

14~16N

臺子最大負載

 3.5Kg

斷電自鎖力

 14N

預緊力

 72N

最大橫向力

 16N

微動臺直線度 

≤3um

微動臺平面度

 ≤4um

偏角、導航

0.02°;0.01° 


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